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清洗,清洗设备,清洗系统,清洗半导体工艺 | |
作者:百创科技 文章来源:本站原创 点击数 更新时间:2021/4/22 10:24:02 文章录入:admin 责任编辑:admin | |
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,清洗,清洗设备,清洗系统,清洗半导体工艺
0012-0001、清洗半导体圆片的方法和设备 摘要、本发明为一种清洗和干燥半导体圆片的方法和设备.其中各圆片在清洗工序之前可储存在一个潮湿环境中,而且在干燥之后,各圆片大体上与设备的其它部分及工作面隔离,以防止或大体上消除圆片表面再受污染的可能性.各圆片每次一片片从引入的储槽中卸下,传送到一个清洗台进行清洗,然后传送到一个干燥台.各圆片经干燥之后,传送到一个输出台,在那里它们被装进一个移动式的封闭构件中,大体上将封闭构件中的各圆片隔离,免受进一步污染. 0146-0002、用于精确清洁的棉球棒 摘要、本发明提供了一种由一根细棍和在细棍末端缠绕纤维构成的棉球部分所组成棉球棒,细棍的末端是扁平的,纤维缠绕于这个扁平部分,并将棉球部分压缩成扁平形状。 0007-0003、输送清除堵塞物气体至流化床的装置 一种把清除堵塞物气体输送给流化栅板孔道的装置.$与其中安装有侧面喷嘴14(最好以分离开的两排16A、16B形式、的喷射管10的垂直管形部9端接的管4,终止在各个下部入口3上,以喷吹流化栅板1的流化空气.$使管10与清除堵塞物流体源相连,以便于驱散在工作中止期间累积在垂直管形部9内的流化床微粒. 0160-0004、带有号筒式超声波振荡器的超声波荫罩清洗装置 摘要、一种超声波荫罩清洗装置用以在阴极射线管制造过程中清洗荫罩,该装置包括:一个清洗槽,里面盛有清洗溶液;一个转移吊架用以将待清洗的荫罩放入清洗槽中加以支撑;和一个号筒式超声波振荡器,装在清洗槽中,具有一个供产生振荡的振荡源、一个供放大振荡的放大器和一个供通过接收放大器来的振荡产生超声波的号筒,其中荫罩表面是通过对号筒的端部线扫描进行清洗的。 0176-0005、采用连续化学处理制造电子元件的湿处理方法 摘要、本发明涉及电子元件前体制造的湿处理方法,如集成电路中的半导体晶片。更为具体地说,本发明涉及采用连续化学处理技术来对电子元件前体进行诸如预扩散清洗,脱膜和蚀刻等处理的方法。 0109-0006、清洁装置 摘要、本发明的清洁装置包括一个真空密封结构的清洁室(1),其中含有要清洁的工件,一个经管路与该清洁室相通的有机溶剂蒸汽发生罐,和一个用于抽空清洁室1的真空泵(6)。冷却介质穿过的热交换件(3)被设置在清洁室(1)内上侧,在清洁室减压之后,把冷却介质供给热交换件(3),同时从蒸汽发生罐(4)导入有机溶剂蒸汽到清洁室(1)里。因此,同时进行清洁工艺。 0008-0007、管子的清洁机械 摘要、一部清洁管子的机械,其包括一个有多个径向伸展的抓刮片的抓刮装置;抓刮片围绕着抓刮装置轴线排列着,从而使由其外周边所形成的抓刮部分能弹性地及环形地接触管子的整个内表面;及一个使抓刮装置在管子内运动的驱动装置. 0053-0008、串叠刀片的水净化 摘要、一种从金属表面除去油、污物及砂轮碎砂的机器包括一组隔离的清洗、漂洗和干燥工位,可防止污物从一个工位传到下一个工位。串叠的剃刀刀片组穿过这些工位,安装在由夹具支撑的杆上、和机器中的喷头或喷嘴的取向要使水压、气压能使刀片间分。该机中采用净化漂洗水,而最好是用含水净化溶液,并在液体系统内循环通过这些工位有效地节约了净化液和漂洗剂。 0030-0009、制件表面振动除污装置 摘要、制件表面振动除污装置具有至少一个机械脉冲激励器(1),激励器(1)由电磁感应器(2)和板片(3)组成,该装置还具有框架(7)和至少一个冲击头(10)。冲击头(10)安装于框架(7)与被清理表面间污垢最可能出现的部位上,并牢牢固定在框架(7)上。每一个电磁感应器(2)带有与其紧贴的板片(3),牢牢固定在框架(7)上。 0102-0010、超声波洗涤装置 摘要、一种超声波洗涤装置,它由盛有洗涤液的洗涤槽与设在该洗涤槽底部的超声波振动器构成,从该超声波振动器向上述洗涤液发射超声波而对浸在该洗涤液中的工作进行洗涤,其特征在于:上述洗涤液在溶氧量为0.01—2ppm状态下进行除气,并使该洗涤液的温度处于该洗涤液的凝固点以上30℃以下。 0090-0011、管道的化学清洗方法 0182-0012、清理带有砂床池底的方法和装置 0061-0013、清洗装置 0158-0014、现场产生用于半导体加工的超高纯度缓冲的HF 0127-0015、使用红外线燃烧器的制品洗涤机 0112-0016、器皿清洗机 0157-0017、用于半导体加工的超高纯氢氟酸的现场制造 0019-0018、超声清洗方法和设备 0077-0019、液体喷射装置 0165-0020、铁路罐车内壁高效低污染清洗方法及其设备 0114-0021、电厂除灰管道除垢的方法及装置 0151-0022、处理管的方法和装置 0039-0023、净化装置及其净化方法 0018-0024、小直径液压管道的冲洗装置 0135-0025、管道除垢装置 0142-0026、瓶盖杀菌方法及其装置 0065-0027、通过辐照除去表面沾染物 0145-0028、清洗设备 0170-0029、电子器件的清洗方法 0200-0030、铁路油罐车内油污的清洗设备 0156-0031、冷气管路清洗装置及方法 0074-0032、移动式除尘装置 0108-0033、用于从空气流分离粉末材料的装置 0113-0034、液体供给设备 0103-0035、双频两功能波浪冲涮式高效清洗机 0126-0036、含危险金属土壤的净化方法 0013-0037、输水管道淤物清除机用的作业牵引动力车 0040-0038、等离子喷射涂料层及烧结涂料层的液体射流清除法 0067-0039、超声波清洗工件的方法 0192-0040、超声波清洗设备 0034-0041、清洗系统 0031-0042、集装箱清洗工艺及设备 0093-0043、枝形吊灯的超声清洗的设备与方法 0095-0044、旁路旋流水浴洗涤消烟除尘机组 0107-0045、以最小的污染和颗粒分配超高纯度气体的方法 0073-0046、蒸汽管道吹洗出口射流控制系统 0179-0047、利用高密度压缩液化气清洗的方法 0027-0048、水力喷射循环洗涤方法和设备 0206-0049、特超声清洗半导体晶片中的去离子水温控去气 0141-0050、用于精确清洁的棉球棒 0068-0051、多功能管道清洗头 0079-0052、塑料卡之类物品的去除毛刺与清除装置 0166-0053、储油罐清污工艺及装置 0064-0054、清洗液体加工设备的机器 0085-0055、用于清洗和吹干离散零件的装置 0143-0056、水净化器的分送设备 0129-0057、清洗系统 0055-0058、用于精密光学系统或光学部件的无放射性特别是无FCKW的清洗方法 0116-0059、清洗物品用的装置 0004-0060、封闭式超声波清洗方法及其装置 0005-0061、管路系统冲洗装置 0119-0062、高压气体容器内表面的处理方法 0154-0063、清洗装置 0201-0064、湿法电除尘工艺及专用设备 0101-0065、用于清洗房屋内部的装置及其有关配水阀 0186-0066、具有超声电机驱动执行机构的烟气罩排气终端 0097-0067、去除容器上收缩颈套或标签的方法和装置 0197-0068、去除残余物的清洗装置 0056-0069、离心伸缩式洗坛刷 0168-0070、清洁地毯的方法 0057-0071、滚刀除垢法和滚刀除垢装置 0104-0072、一种处理含硫燃料经燃烧产生的固体残渣的方法,和实施该方法的热处理设备 0080-0073、低噪音液体振动换能激励装置 0159-0074、半导体加工用超高纯盐酸的现场制备 0084-0075、附有带齿纤毛或钩状纤毛的除尘装置及其除尘方法 0183-0076、洗罐设备及方法 0117-0077、水气脉冲管道清洗法 0161-0078、有电动线性传动装置的通风橱排气终端 0184-0079、粉末冶金方法和装置 0169-0080、清洗线形或者带形特别是线形物品的方法 0002-0081、管件内径清洁系统,清洁料和清洁方法 0063-0082、一种用于清洁和排空在分配系统中的饮料液体管线的装置 0131-0083、用辐照方法选择性清除物质 0163-0084、半导体制造用氨的现场纯化 0172-0085、建筑物外表面免擦清洁方法及专用清洁剂 0205-0086、旋转处理装置及方法 0083-0087、管道除垢疏通清洗设备 0060-0088、超声波连续清洗装置 0190-0089、连续流洗涤器皿设备 0196-0090、卫生巾生产线排风除尘管路系统装置 0115-0091、清洗方法 0137-0092、洗罐器及洗罐系统 0011-0093、超声清洗方法和装置 0038-0094、等电位射流带电清扫器 0001-0095、一种油泵油嘴深盲孔的超声清洗装置 0125-0096、清洗装置 0100-0097、清洗零件的方法和机器 0106-0098、用辐照方法清除表面沾污 0094-0099、超声波脱脂装置 0123-0100、玻璃除雾巾及其制备方法 0052-0101、气动风轮超高压带电清扫装置 0082-0102、玻璃门窗或类似竖直和水平光滑表面的清洗工艺和实施设备 0122-0103、三元射频管道清洗法及其装置 0189-0104、冶炼碳化硅的炉气回收装置 0075-0105、除标签机及除标签法 0071-0106、清洗机 0148-0107、实验室通风橱框格开口速度的监测器及显示器 0098-0108、一种用于引导长行元件的方法 0120-0109、以最小的腐蚀分配超高纯度气体的方法 0070-0110、处理易损表面,特别是雕刻品的装置和方法 0188-0111、电收尘极板 0081-0112、粘附性清洁工具 0010-0113、清洁管道的方法及装置 0208-0114、清洗锆钛酸铅薄膜的方法 0136-0115、微生物零件清洗器 0076-0116、含质性喷射清洗硬质物体的方法 0175-0117、用于清洁油槽及其它物体的内部的方法及装置 0133-0118、牙刷护理装置 0087-0119、对含粒料的声处理液进行声处理并将振动传送到其中的方法和装置 0152-0120、处理油罐中液体的方法以及在该方法中使用的液体喷射装置 0195-0121、洗涤方法和洗涤装置 0121-0122、清洗方法以及清洗装置 0118-0123、用于清洗物件的浸没式振动装置 0048-0124、高效管道百通器 0049-0125、去污布及其制造方法 0181-0126、利用以倾斜角度施加的辐射去除材料 0009-0127、通用的电极清洗装置 0042-0128、高洁型步进通过式清洗机 0173-0129、超声波清洗装置 0032-0130、表面积垢清理装置 0167-0131、管路清洗装置及其方法 0072-0132、安瓿自动连续理瓶方法及其清洗机 0164-0133、用于在实验室通风柜中安装穿壁式传感器的装置和方法 0006-0134、高效振荡喷射器 0171-0135、高净度皮带清扫器 0150-0136、电路板处理用的方法和设备 0128-0137、含危险物质土壤的净化方法 0204-0138、大楼清洗机 0194-0139、无水印产生的方法及其装置 0050-0140、铜制碑文的碑体泛黄物的清洗方法 0015-0141、管道中自由流体聚积物的排出 0037-0142、用液体处理物品的方法及其装置 0054-0143、永磁旋转磁振式退磁清洗机 0044-0144、清洗/干燥的方法及其装置 0092-0145、清洗方法和清洗装置 0178-0146、改进的清洗组件和新型的清洗双头螺栓 0185-0147、产生弱结合表面的方法 0041-0148、清洗装置 0045-0149、清洗分散的固体颗粒的方法和设备 0089-0150、用于清洗罐和回收、处理罐中剩余液体的系统以及使用该系统的方法 0199-0151、工件处理系统的驱动组件 0110-0152、处理流体中半导体晶片的工艺和装置 0023-0153、蒸气清洁家用电器装置 0078-0154、容器操作机 0017-0155、物品洗涤方法 0028-0156、用于冲洗液压管路系统或类似系统的装置 0111-0157、立式电收尘防结露放电原理与装置 0147-0158、清洁装置和清洁方法 0096-0159、管子内表面的清洗方法及其实施设备 0022-0160、移动排料管卸料的防尘方法和装置 0014-0161、油箱冲洗系统 0016-0162、用于清洁球形圆顶盖的设备 0003-0163、流体振动装置 0026-0164、电冰箱用铜管清洗工艺 0177-0165、具有回风功能的工作台以及由这种工作台构成的回风系统 0144-0166、多用洗刷器 0180-0167、枪管及管道的清洁装置 0069-0168、电力设备及电子元器件内浸渍技术 0198-0169、罐污泥治理装置及其方法 0134-0170、除尘系统 0202-0171、射频清洗工艺 0020-0172、清洗装置 0025-0173、用余辉等离子体清洗表面的方法 0191-0174、清理用于热塑性材料的添加剂的工艺路线的系统和方法 0066-0175、低损伤清洗机 0203-0176、电视(电脑)屏幕专用擦拭巾 0105-0177、通道式湿法除尘器 0046-0178、清洗分散的固体颗粒的方法和设备 0035-0179、利用能发射短脉冲的脉冲激光器清洁材料表面的方法及装置 0187-0180、低温除臭装置 0059-0181、改良的气动枪及其抛射体 0033-0182、对经液体处理后的基片进行干燥的方法和装置 0193-0183、机动车燃油路系统外循环自动清洗工艺 0047-0184、一种清洗轴承工艺及其设备 0091-0185、水下清洗方法和装置 0029-0186、清除粘结或冻结在容器壁上的物料的方法 0024-0187、气流冲击法管网吹扫工艺 0155-0188、用于半导体加工的超高纯*的现场制造 0132-0189、从一条相对运动的材料幅上清除灰尘颗粒 0036-0190、被清洗物的清洗方法及装置 0130-0191、清洁方法及其所用的装置 0153-0192、微波激发清洁及冲洗装置 0021-0193、干式镜面防露布 0140-0194、联锁式多用途气动工具 0043-0195、超声波强制式清洗机 0149-0196、酸性清洗组合物和用于含铝金属的方法 0174-0197、炊事房环保排泄机 0086-0198、在管路系统中送进并接收清管器的清管器系统 0058-0199、金属表面的超声波综合处理方法和设备 0051-0200、屋面水箱(塔、水位自动控制和清洗装置 0207-0201、下水道清洁疏通装置 0099-0202、除去设备污染物的方法 0088-0203、一种洗瓶机 0139-0204、清洗液体输送管道的清洗系统 0062-0205、吸头清洗机 0138-0206、洗涤剂、洗涤方法及洗涤装置 0162-0207、洗涤空心纤维膜的方法 0124-0208、纤维机械的清洁装置和吸气管道用的附件 0209-0209、铂族金属回收中的改进 |
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