传感器、电容式传感器、量传感器、参数传感器及生产工艺技术
0032-0001、 爆震识别方法
摘要、 种内燃机中的爆震识别方法其中，至少一个配置给内燃机的爆震传感器的输出信号借助一个后联的求值装置求值。当爆震传感器预处理的输出信号超过一个预定的参考电平时，就识别出爆震。参考电平跟随输入信号的计算与内燃机是否处于动态工作状态有关，其中，对于动态时参考电平的计算也使用在识别出爆震时求得的测量值。
0025-0002、 用于确定感应电动机的转矩的方法和装置
摘要、 本发明涉及一种用于确定一感应电动机(2)的转矩(m，k，)的方法按照本发明，由定子端电压(u，1，u，u，)和定子端电流(i，1，i，i，)通过积分并随后进行高通滤波，求出定子交链式磁通量的空间矢量(Ψ，k，sup，∠，sup，)，然后通过使该空间矢量(Ψ，k，sup，∠，sup，)与一个复合校正系数相乘(C，sup，∠，sup，)求出转矩(m，k，)。用于实施这种方法的装置为此具有适合的计算单元(8，10，12，14)。
0047-0003、 感应压力传感器
传感器(1)包括一个支承结构(2，3)，其中安装着一个具有平表面(8a)和相反一侧有凹坑(8b)的金属体(8)，凹坑暴露在被传感的压力之下，一个在压力作用下像膜片一样产生弹性变形的薄壁(8c)被限定在凹坑(8b)底面和所述平表面(8a)之间，一个包含铁磁材料体(11)的感应器(10)牢固地固定在金属体(8)上，该金属体是有一面向金属体(8)平表面(8a)的平表面(11a)，还有一环形凹槽(12)和一个环套(14)，该凹槽限定在其内部设置绕组(16)的中央铁芯(13)一个厚度经过校准的顺磁或逆磁材料间隔环(9)插在金属体(8)和铁磁体(11)之间。
0040-0004、 用于角速度、扭矩和功率的轴传感器
摘要、 在较佳实施例中，用于一机械的一轴传感器，该轴传感器具有：第一和第二圆盘（５０）和（５２），以及传感器（６４，６６）组件，各圆盘垂直地固定连接于该机械的轴（３０）的一部分，轴的该部分承受扭矩，第一和第二圆盘沿轴的该部分在分隔开的位置运作地连接于轴的该部分；传感器（６４、６６）组件具有与第一和第二圆盘的关系，以探测由于轴的该部分的扭转所引起的第一和第二圆盘的相对位置输出代表与轴的扭转相关的至少一个参数的信号。
0070-0005、 一种压力传感器及其平面复合差动方法
摘要、 一种压力传感器及其平面复合差动方法属于传感器技术领域，主要解决传感器零压时上下电容间距很难保证一致、引线困难、被测介质与电容极板接触的问题，本发明包括带引压管的基座、带通道孔、双杯、双膜、双岛的基体、电容的上、下电极、上电极固定板；压力从引压管加入，经通道孔分流进入左杯和右杯，使双膜同时上移，推动双岛同时上移，改变两电容电极板的间距，使C，1，+ΔC、C，－ΔC，形成电容量的差动变化。
0101-0006、 拾振器及用于拾振器的绝缘盘
摘要、 本发明涉及用于直接或间接地固定在具有振动的构件如内燃机缸体上的拾振器(1)。该拾振器具有一个壳体(10)及一个设有一个中心孔(14)、一个圆柱形区域(12)及一个法兰盘状区域(13)的压管(2)。一个压电盘(3)设在两个接触片(7)之间。通过弹簧件(5)及螺纹环(6)使一个地震质量(4)作用在压电盘(3)上。在这些接触片(7)的背离压电盘(3)的一侧上设有绝缘片(8)。其中绝缘片(8)具有一个内径(D1)，该内径小于压管(2)的圆柱形区域(12)的外径(D2)。
0007-0007、 抽气法制备可调压超真空技术
摘要、 抽气法制备可调压超真空技术$属物理的真空技术领域。用真空机和__体为手段制备超真空体，质点数和压力都可以根据需要随意调控，常温操作。
0065-0008、 通过径向力的测量对绝对存量的控制
摘要、 一种用来监控和任意控制容器内的动力流体的绝对存量的方法和装置该容器有至少一个搅拌器，搅拌器带有一个在基本水平方向上延伸的转轴，其中沿相对于轴的垂直方向上有作用在搅拌器上的合力，容器的绝对存量和作用在搅拌器上的垂直方向上的力之间存在一种关系。该方法包括确定绝对存量和合力之间的关系，测量该合力，由此确定容器内的相关的绝对存量。然后该被确定的绝对存量值可以作为一个控制变量，用来控制容器内的绝对存量。
0061-0009、 高温应变纳米膜压力传感器
摘要、 一种高温应变纳米膜压力传感器，由带螺纹和密封环的引压连接管、弹性杯底淀积有多层薄膜的承压钢杯、外罩顺次紧套焊封构成，多层薄膜自弹性杯底向外依次为：绝缘隔离膜、应变敏感纳米膜、引线导电膜、钝化保护膜，与引线导电膜连接的输出导线通过外罩引出，其特征为：绝缘隔离膜是由纳米量级Ta，5，层和，、或Al，层五层交替淀积形成，总厚度4000～7000纳米间，应变敏感纳米膜是Ni－Cr合金淀积、光刻而成的平面电阻桥路；外罩中设有环形支架以固定陶瓷基板的外引线板；环形支架上设有螺杆紧固件以分隔、固定补偿电路板；本发明工作温度范围更宽、测量精度及长期稳定性更好、且成品率较高。
0130-0010、 柔性的光纤微弯曲装置、传感器和使用方法
摘要、 一种装接在光纤上的柔性微弯曲装置其包括具有至少一个柔性元件的上部弯曲元件栅架和具有至少一个柔性元件的下部弯曲元件栅架。该上部弯曲元件栅架与下部弯曲元件栅架交替地接合。该柔性微弯曲装置装接在光纤上以形成传感器。该传感器或嵌入到基质材料中，或装接到结构上以检测各种应力和应变。
0075-0011、 系泊船舶撞击能量传感器及其测量撞击能量的方法
087-0012、 可量测过程变送器
0049-0013、 具有温度补偿的传感器
0156-0014、 简易扳手扭力检测器
0217-0015、 编码设备，解码设备以及音频数据分配系统
0186-0016、 无油压差传感器
0121-0017、 超声螺栓紧固力测试装置
043-0018、 一种电容型力传感器
0054-0019、 钻井局部壁面应力全解除法
142-0020、 带有径向张紧的金属隔膜的压力传感器
0039-0021、 电容压力传感器
0063-0022、 具有改善了误差补偿的过程压力测量装置
122-0023、 利用二进制信号估计语音信号的音调
0108-0024、 力检测器
0029-0025、 多腔柱塞式差压仪表平衡器
0093-0026、 测重传感器
0196-0027、 静电电容式传感器
0195-0028、 静电电容式传感器
0096-0029、 悬挂测量机构式压力计的线性度调节特征
0132-0030、 传感电路和使用该传感电路的电动混合式自行车
0180-0031、 压力传递器
0082-0032、 环境密封仪器环路适配器
0165-0033、 压力计
0078-0034、 压力变送器及预测压力变送器误差值的方法
177-0035、 用于光导纤维的残余应力测量装置
030-0036、 能耐高单向过载压力的差压变送器
0146-0037、 底盘测功机上汽车快速测功方法
031-0038、 验证新引力定律的方法及装置
085-0039、 测量光纤中应力的系统和方法
056-0040、 用于测量机械力的布拉格光栅装置和该装置的工作应用及方法
137-0041、 MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法
064-0042、 气囊式井下压力测试传压筒
0161-0043、 一种海洋波浪载荷的测量方法和装置
095-0044、 压力传感器
0139-0045、 轮胎测试设备
0164-0046、 压力传感器
0148-0047、 扭力侦测器改良
0194-0048、 电阻型传感器
0042-0049、 被封装的装置
111-0050、 转矩传感器的异常检测装置
143-0051、 用于洁净环境的压力传送器
0150-0052、 一种多维力传感器动态实验台及其方法
188-0053、 内燃发动机的进气压检测方法
067-0054、 锚索测力传感器
0038-0055、 集成真空微电子触觉传感器阵列
0172-0056、 用于制造传感装置的方法
179-0057、 袖珍高压真空管测试仪
0097-0058、 压力指示器
0123-0059、 纳米碳基薄膜场发射压力传感器
0204-0060、 梁膜一体结构谐振梁压力传感器芯片及制造方法
012-0061、 用于实时测量汽车发动机输出转矩的方法和装置
193-0062、 电容式力学量传感器及其制造方法和包含该传感器的检测装置
107-0063、 屏蔽罩静电荷灭弧室真空度检测方法及其装置
086-0064、 压力传感器模块的预先组装
0089-0065、 耐高温压力传感器
0080-0066、 一种车用光电式转矩传感器
0105-0067、 以SiNx为梁的新型微结构谐振梁压力传感器制造方法
033-0068、 带有整体互感器的轴承
0066-0069、 压力传感器
0005-0070、 对应变和，或温度敏感的感测带
0079-0071、 智能沥青混凝土传感器
0197-0072、 静电电容式传感器
0190-0073、 大载荷双液压缸同步运行的反馈调节装置及过程
0028-0074、 建筑门窗动风压性能现场检测设备
0213-0075、 具有透明板开闭机构的压力计
0003-0076、 低外形压力测量装置
191-0077、 一种纤维增强树脂基复合材料自诊断智能结构及作自诊断的方法
076-0078、 电力变压器上绕组压制元件压紧力用的测量装置
202-0079、 带有可变形支架的电容式力敏传感器
0115-0080、 一种压力敏感元件
0104-0081、 新型全SiNx微结构谐振梁压力传感器
0018-0082、 光纤压力传感器(及变型)和制作柔性反射膜片的方法
199-0083、 离心力的定向技术
059-0084、 转动式手提数字张力测量仪
0016-0085、 用于测量管道内的不稳定压力的非插入式纤维光学压力传感器
0205-0086、 一种梁膜分体结构谐振梁压力传感器
0037-0087、 微功耗光纤传输多参数传感器
0091-0088、 电机机械特性测量的方法及其装置
009-0089、 可灵敏地感测帽盖压力的指标装置
008-0090、 压力表控制保护器
0175-0091、 含能材料DDT管实验的压力测量方法
174-0092、 压力传感器及其制造方法
074-0093、 可旋转的悬臂式测力计及其测量缆绳拉力的方法
117-0094、 内燃机的爆震判断装置
162-0095、 轮胎接地压力及轮胎作用下路面结构内应力应变测量装置
058-0096、 电梯制动负载测量系统
0147-0097、 无缝线路钢轨温度力及锁定轨温的测试方法
053-0098、 安全阀门离线热力调校方法
159-0099、 高精度机械式测力机及标定方法
013-0100、 薄膜式锰铜超高压力传感器
0069-0101、 应力分布的磁检测方法
014-0102、 合力测量仪
0001-0103、 蒸汽发生器内部压力的测定方法及装置
201-0104、 压力传感器及其装配方法
057-0105、 转矩测量
0045-0106、 放电型真空灭弧室真空度在线检测方法
145-0107、 一种静态破裂剂膨胀压力的测试方法及测试装置
083-0108、 焊接残余应力消除效果可视变形评价系统
0127-0109、 测量在织造系统等设备中的纱线的机械张力的改进的装置
151-0110、 检测力的装置和方法
133-0111、 硅蓝宝石力敏传感器及其制备方法
176-0112、 一种用于铅球三维测力仪的测试方法
023-0113、 柔性硅应变计
0027-0114、 压力检测器的安装结构
0129-0115、 压力传感组件
0135-0116、 绳张力在线检测方法及其测量装置
170-0117、 光纤的拉丝张力测定方法
050-0118、 布拉格光栅压力传感器
0189-0119、 井下工具受力的嵌入式模拟测试装置与过程
0103-0120、 一种扭矩测量新方法和传感器
0163-0121、 滚动轴承装置
088-0122、 底盘测功机上柴油车快速测功方法
113-0123、 锚固桩、锚索桩钢筋应力监测方法
185-0124、 压力传送器
0216-0125、 压力测量装置
173-0126、 膜盒式沼气压力表
0098-0127、 传感器用补偿元件
0071-0128、 用于热力发动机试验台的负载机
0073-0129、 沥青路面立置环道负荷轮试验仪
0062-0130、 一种可视化压力筒
0099-0131、 测试桩基轴向承载力的自锚荷载法
017-0132、 利用光电传感对传动轴的扭矩进行测量的方法
211-0133、 耐高温石油井下动态压力传感器
0019-0134、 智能玩具
0155-0135、 真空度测试仪
0044-0136、 一种应变式测力传感器的弹性体
0207-0137、 用于校准螺纹工具的扭力传感器
0051-0138、 静电容量式转矩传感器及转矩检测方法
077-0139、 设有压力传感器的火花塞和设有这种火花塞的内燃机
0094-0140、 冲击器输出性能的测试装置及测试方法
036-0141、 柴油机爆发压力检测仪
0154-0142、 静电电容式传感器及其制造方法
052-0143、 杆件测力器
0183-0144、 可用于高度洁净及高腐蚀性环境的感测器
0126-0145、 压力传感器和压力测定装置
114-0146、 一种在用超高压自增强反应管剩余残余应力的声学测试方法
046-0147、 陶瓷压力传感器及差压传感器
0144-0148、 一种超声波管外压力检测装置及方法
112-0149、 线性化的振弦式测力传感器
0055-0150、 空载，负载制动控制器的短行程检测器
0128-0151、 微机电系统(MEMS)用的电互联的晶粒生长
0168-0152、 具有耐蚀膜片的压力传感器
0020-0153、 压力计
0021-0154、 空气压力接受器
0200-0155、 半导体力学量传感器
0149-0156、 压力测量装置
022-0157、 带丝网印刷应变仪的力传感器
0138-0158、 用来测量转角和，或扭矩的传感装置
184-0159、 说话人声音的后台学习
0010-0160、 压力传感器、压力传感器控制装置以及压力传感器系统
0169-0161、 电容式传感器
0004-0162、 高精度压力传感器
0182-0163、 压力传感器组件
0203-0164、 用于顺列式压力变送器的工艺连接件
0102-0165、 一种新型扭矩测量仪
0026-0166、 机电转换器
0015-0167、 用以操控设备的集中式语音识别遥控方法及系统
0214-0168、 有金锗隔离铜焊接头的蓝宝石压力传感器梁架
0100-0169、 压力传感器
0081-0170、 超压自动排气自动报警锅炉气压表
0166-0171、 机械力检测装置
034-0172、 静电电容式变形传感器及其使用方法
141-0173、 摩托车制动器钳口力检测台
0167-0174、 压力传感器
0153-0175、 薄膜类型的半导体压力传感器
0206-0176、 真空吸笔检测装置
210-0177、 电容式压力微感测元件及其应用的指纹读取芯片
0060-0178、 振弦式数码记忆传感器
0140-0179、 用于电力电气装置的内部故障指示器
0152-0180、 电容式压力传感器及其制造方法
192-0181、 静电电容式传感器
0219-0182、 转矩测试设备
0208-0183、 具有突起的结合结构
0118-0184、 采用水平极化声波模式的谐振式水晶压力传感器
0171-0185、 用于语音编码的码本结构与搜索
0024-0186、 旋转体上传感器信号导出装置
120-0187、 传感器装置
198-0188、 冷轧带钢板形内应力的检测方法
160-0189、 微小极间距电容式力敏传感器及其制造方法
124-0190、 直接输出型机器人四维力与力矩传感器
0041-0191、 高温超导磁悬浮测试技术
092-0192、 扭矩测试仪
0106-0193、 不拆卸灭弧室真空开关真空度测量仪
0090-0194、 静电键合密封电容腔体的压力传感器及制作工艺
116-0195、 用于内燃机的爆燃控制装置
035-0196、 降噪压差测量探头
0218-0197、 孔隙水压力测量传感器
0011-0198、 “X” 型硅微应变固态压阻传感器及其制作工艺
178-0199、 测量液力装置中扭矩的方法和装置
215-0200、 结合了表声波器件的压力监视器
0212-0201、 多层膜电容式压力传感器
0072-0202、 一种判断油井钢套管应力分布状况的磁敏检测方法
109-0203、 内燃发动机的进气压检测方法
119-0204、 直接数字化的压力变送器及其测量方法
068-0205、 基于读取头电阻的现场压力传感器及压力检测方法
157-0206、 电动辅助自行车的踏力检测装置
209-0207、 列车尾部风压测量控制装置
181-0208、 压差感受器
0131-0209、 汽车行驶工况驱动功率值测试系统及其测试方法
048-0210、 半导体压力传感器
0084-0211、 压力传感器
0136-0212、 油水井套管应力检测探头以及探测仪器
0006-0213、 压力传感器
0110-0214、 转矩传感器的温度补偿装置
134-0215、 铠装双管差压计
0158-0216、 绝对压力型压力传感器
0002-0217、 半导体压力传感器及其制造方法
125-0218、 高精度钢弦式孔隙水压力传感器
0187-0219、 布尔登管式压力计
0220-0220、 汽车轮边功率特性快速测试方法BR
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摘要、 种内燃机中的爆震识别方法其中，至少一个配置给内燃机的爆震传感器的输出信号借助一个后联的求值装置求值。当爆震传感器预处理的输出信号超过一个预定的参考电平时，就识别出爆震。参考电平跟随输入信号的计算与内燃机是否处于动态工作状态有关，其中，对于动态时参考电平的计算也使用在识别出爆震时求得的测量值。
0025-0002、 用于确定感应电动机的转矩的方法和装置
摘要、 本发明涉及一种用于确定一感应电动机(2)的转矩(m，k，)的方法按照本发明，由定子端电压(u，1，u，u，)和定子端电流(i，1，i，i，)通过积分并随后进行高通滤波，求出定子交链式磁通量的空间矢量(Ψ，k，sup，∠，sup，)，然后通过使该空间矢量(Ψ，k，sup，∠，sup，)与一个复合校正系数相乘(C，sup，∠，sup，)求出转矩(m，k，)。用于实施这种方法的装置为此具有适合的计算单元(8，10，12，14)。
0047-0003、 感应压力传感器
传感器(1)包括一个支承结构(2，3)，其中安装着一个具有平表面(8a)和相反一侧有凹坑(8b)的金属体(8)，凹坑暴露在被传感的压力之下，一个在压力作用下像膜片一样产生弹性变形的薄壁(8c)被限定在凹坑(8b)底面和所述平表面(8a)之间，一个包含铁磁材料体(11)的感应器(10)牢固地固定在金属体(8)上，该金属体是有一面向金属体(8)平表面(8a)的平表面(11a)，还有一环形凹槽(12)和一个环套(14)，该凹槽限定在其内部设置绕组(16)的中央铁芯(13)一个厚度经过校准的顺磁或逆磁材料间隔环(9)插在金属体(8)和铁磁体(11)之间。
0040-0004、 用于角速度、扭矩和功率的轴传感器
摘要、 在较佳实施例中，用于一机械的一轴传感器，该轴传感器具有：第一和第二圆盘（５０）和（５２），以及传感器（６４，６６）组件，各圆盘垂直地固定连接于该机械的轴（３０）的一部分，轴的该部分承受扭矩，第一和第二圆盘沿轴的该部分在分隔开的位置运作地连接于轴的该部分；传感器（６４、６６）组件具有与第一和第二圆盘的关系，以探测由于轴的该部分的扭转所引起的第一和第二圆盘的相对位置输出代表与轴的扭转相关的至少一个参数的信号。
0070-0005、 一种压力传感器及其平面复合差动方法
摘要、 一种压力传感器及其平面复合差动方法属于传感器技术领域，主要解决传感器零压时上下电容间距很难保证一致、引线困难、被测介质与电容极板接触的问题，本发明包括带引压管的基座、带通道孔、双杯、双膜、双岛的基体、电容的上、下电极、上电极固定板；压力从引压管加入，经通道孔分流进入左杯和右杯，使双膜同时上移，推动双岛同时上移，改变两电容电极板的间距，使C，1，+ΔC、C，－ΔC，形成电容量的差动变化。
0101-0006、 拾振器及用于拾振器的绝缘盘
摘要、 本发明涉及用于直接或间接地固定在具有振动的构件如内燃机缸体上的拾振器(1)。该拾振器具有一个壳体(10)及一个设有一个中心孔(14)、一个圆柱形区域(12)及一个法兰盘状区域(13)的压管(2)。一个压电盘(3)设在两个接触片(7)之间。通过弹簧件(5)及螺纹环(6)使一个地震质量(4)作用在压电盘(3)上。在这些接触片(7)的背离压电盘(3)的一侧上设有绝缘片(8)。其中绝缘片(8)具有一个内径(D1)，该内径小于压管(2)的圆柱形区域(12)的外径(D2)。
0007-0007、 抽气法制备可调压超真空技术
摘要、 抽气法制备可调压超真空技术$属物理的真空技术领域。用真空机和__体为手段制备超真空体，质点数和压力都可以根据需要随意调控，常温操作。
0065-0008、 通过径向力的测量对绝对存量的控制
摘要、 一种用来监控和任意控制容器内的动力流体的绝对存量的方法和装置该容器有至少一个搅拌器，搅拌器带有一个在基本水平方向上延伸的转轴，其中沿相对于轴的垂直方向上有作用在搅拌器上的合力，容器的绝对存量和作用在搅拌器上的垂直方向上的力之间存在一种关系。该方法包括确定绝对存量和合力之间的关系，测量该合力，由此确定容器内的相关的绝对存量。然后该被确定的绝对存量值可以作为一个控制变量，用来控制容器内的绝对存量。
0061-0009、 高温应变纳米膜压力传感器
摘要、 一种高温应变纳米膜压力传感器，由带螺纹和密封环的引压连接管、弹性杯底淀积有多层薄膜的承压钢杯、外罩顺次紧套焊封构成，多层薄膜自弹性杯底向外依次为：绝缘隔离膜、应变敏感纳米膜、引线导电膜、钝化保护膜，与引线导电膜连接的输出导线通过外罩引出，其特征为：绝缘隔离膜是由纳米量级Ta，5，层和，、或Al，层五层交替淀积形成，总厚度4000～7000纳米间，应变敏感纳米膜是Ni－Cr合金淀积、光刻而成的平面电阻桥路；外罩中设有环形支架以固定陶瓷基板的外引线板；环形支架上设有螺杆紧固件以分隔、固定补偿电路板；本发明工作温度范围更宽、测量精度及长期稳定性更好、且成品率较高。
0130-0010、 柔性的光纤微弯曲装置、传感器和使用方法
摘要、 一种装接在光纤上的柔性微弯曲装置其包括具有至少一个柔性元件的上部弯曲元件栅架和具有至少一个柔性元件的下部弯曲元件栅架。该上部弯曲元件栅架与下部弯曲元件栅架交替地接合。该柔性微弯曲装置装接在光纤上以形成传感器。该传感器或嵌入到基质材料中，或装接到结构上以检测各种应力和应变。
0075-0011、 系泊船舶撞击能量传感器及其测量撞击能量的方法
087-0012、 可量测过程变送器
0049-0013、 具有温度补偿的传感器
0156-0014、 简易扳手扭力检测器
0217-0015、 编码设备，解码设备以及音频数据分配系统
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0121-0017、 超声螺栓紧固力测试装置
043-0018、 一种电容型力传感器
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0063-0022、 具有改善了误差补偿的过程压力测量装置
122-0023、 利用二进制信号估计语音信号的音调
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0093-0026、 测重传感器
0196-0027、 静电电容式传感器
0195-0028、 静电电容式传感器
0096-0029、 悬挂测量机构式压力计的线性度调节特征
0132-0030、 传感电路和使用该传感电路的电动混合式自行车
0180-0031、 压力传递器
0082-0032、 环境密封仪器环路适配器
0165-0033、 压力计
0078-0034、 压力变送器及预测压力变送器误差值的方法
177-0035、 用于光导纤维的残余应力测量装置
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031-0038、 验证新引力定律的方法及装置
085-0039、 测量光纤中应力的系统和方法
056-0040、 用于测量机械力的布拉格光栅装置和该装置的工作应用及方法
137-0041、 MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法
064-0042、 气囊式井下压力测试传压筒
0161-0043、 一种海洋波浪载荷的测量方法和装置
095-0044、 压力传感器
0139-0045、 轮胎测试设备
0164-0046、 压力传感器
0148-0047、 扭力侦测器改良
0194-0048、 电阻型传感器
0042-0049、 被封装的装置
111-0050、 转矩传感器的异常检测装置
143-0051、 用于洁净环境的压力传送器
0150-0052、 一种多维力传感器动态实验台及其方法
188-0053、 内燃发动机的进气压检测方法
067-0054、 锚索测力传感器
0038-0055、 集成真空微电子触觉传感器阵列
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0097-0058、 压力指示器
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107-0063、 屏蔽罩静电荷灭弧室真空度检测方法及其装置
086-0064、 压力传感器模块的预先组装
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