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化学机械抛光 铜抛光技术汇编 | |
作者:技术顾问 文章来源:百创科技 点击数 更新时间:2021/4/10 8:37:59 文章录入:admin 责任编辑:admin | |
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1.一种水基纳米金刚石抛光液及其制造方法 2.用于铜的受控抛光的组合物和方法 3.用于铜的低下压力抛光的组合物和方法 4.用于抛光铜的组合物和方法 5.抛光液和抛光有色金属材料的方法 6.化学抛光液,国家省市,日本(JP、 7.用于化学机械抛光的水分散体和半导体设备的生产方法 8.用于抛光铜基金属的浆 9.用于金属的化学机械抛光(CMP)的浆料及其使用 10.化学机械抛光浆液 11.一种化学-机械抛光铜镶嵌结构所用的浆料 12.用于抛光金属的组合物、金属层的抛光方法以及生产晶片的方法 13.用于化学机械平坦化的多步抛光液 14.抛光和/或清洁铜互连和/或薄膜的方法及所用的组合物 15.抛光和/或清洁铜互连和/或薄膜的方法及所用组合物 16.用于铜膜平面化的钝化化学机械抛光组合物 17.可选择性阻隔金属的抛光液 18.一种抛光剂 19.可除去聚合物阻挡层的抛光浆液 20.用于阻挡层的化学机械抛光浆料 21.铜的化学机械抛光浆料 22.H黄铜抛光液及其制备方法 23.抛光溶液 24.用于铜膜平面化的钝化化学机械抛光组合物 25.用于化学机械抛光的抛光浆液和方法 26.用于抛光低介电材料的抛光液 27.抛光用组合物以及抛光方法 28.用于封闭式循环水系统的缓蚀剂 29.耐高温抗氧化贱金属铜银合金组合物及其生产方法 30.超大规模集成电路多层铜布线化学机械全局平面化抛光液 31.抗氧化和防腐蚀的含钼奥氏体不锈钢 32.金属CMP用的抛光组合物 33.研磨无机氧化物颗粒的浆液以及含铜表面的抛光方法 34.铜化学-机械抛光工艺用抛光液 35.钛合金表面抗氧化的铝-铜-铁-铬准晶涂层的制备 36.抗氧化和防腐蚀的含钼奥氏体不锈钢 37.超大规模集成电路多层铜布线中铜与钽的化学机械全局平面化抛光液 38.铜锌合金表面的电抛光方法 39.耐极压、抗氧化润滑油复合剂 40.一种抗氧化铸铁玻璃模具材料 41.抛光组合物 42.用于铜的化学机械抛光(CMP、浆液以及用于集成电路制造的方法 43."硫化酚抗氧化剂组合物,其制备方法以及含该组合物的石油产品" 44.封闭水体用复合净水剂 45.用于铜/钽基材的化学机械抛光浆料 46.用于铜/钽基材的化学机械抛光浆料 47.用于铜基材的化学机械抛光浆料 48.抛光铜膜后清洁处理半导体衬底的方法和设备 49.抛光组合物及使用它的抛光方法 50.铜制品抛光剂的制造方法 51.用于抛光低介电材料的化学机械抛光液 |
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