1.OP200710108911.6声界面波器件、谐振器和滤波器
2.OP200710107742.4压电薄膜谐振器及采用该压电薄膜谐振器的滤波器
3.OP200710105462.X具有多个压电薄膜谐振器的滤波器
4.OP200710092312.X制造用于压电谐振器的声反射镜和制造压电谐振器的方法
5.OP200710085821.X弹性边界波器件、谐振器以及滤波器
6.OP200710072394.1石英热敏谐振器
7.OP200710069043.5一种基于微桥谐振器的红外探测器结构及☎13940531297
8.OP200710007036.2膜体声谐振器及其制造方法
9.OP200710005320.6薄膜压电谐振器以及薄膜压电谐振器滤波器
10.OP200680000322.X薄膜压电谐振器及其制造方法
11.OP200680000282.9厚度纵向压电谐振器
12.OP200680000095.0扭转谐振器和采用其的滤波器
13.OP200620141335.6石英晶体谐振器
14.OP200620125787.5用于生产石英谐振器基座支架片的框架带
15.OP200620068924.6介质谐振器天线
16.OP200620068522.6表面贴装石英晶体谐振器
17.OP200620068238.9一种家用超声雾化加湿器的谐振器改进结构
18.OP200620016814.5同轴腔体谐振器间耦合结构
19.OP200610169257.5表面安装谐振器及利用绝缘陶瓷基底形成其的方法
20.OP200610160693.6压电层压体、表面声波元件、压电谐振器及压电传动装置
21.OP200610149519.1具有轴向间隙的介质谐振器及具有这种介质谐振器的电路
22.OP200610144503.1可变谐振器
23.OP200610143562.7用于磁共振应用的谐振器
24.OP200610143239.X音响谐振器及滤波元件
25.OP200610141277.1具有金属薄膜谐振器的等离子照明系统
26.OP200610140070.2结合了串联的解耦堆叠体声波谐振器的声电隔离器
27.OP200610139691.9包括具有不同孔径比部分的谐振器的无电极照明系统
28.OP200610139686.8具有铝谐振器的无电极照明系统
29.OP200610137474.6压电薄膜谐振器及滤波器
30.OP200610137387.0压电谐振器及其制造方法
31.OP200610128699.5频率温度系数经调整过的谐振器
32.OP200610126755.1共面谐振器及使用了该共面谐振器的滤波器
33.OP200610115959.5薄膜体声谐振器及其制造方法
34.OP200610091656.4微小谐振器、带通滤波器、半导体装置及通信装置
35.OP200610087989.X小型压电谐振器
36.OP200610087987.0压电谐振器以及包含封装在壳体中的该谐振器的组件
37.OP200610087982.8小型压电谐振器
38.OP200610087834.6弹性表面波谐振器、弹性表面波装置以及通信设备
39.OP200610080180.4压电薄膜谐振器与滤波器
40.OP200610079076.3膜体声谐振器和滤波电路
41.OP200610078162.2压电薄膜谐振器和具有其的滤波器
42.OP200610074177.1谐振器
43.OP200610065658.6层叠型多谐振器天线
44.OP200610064749.8电子可调谐介质谐振器电路
45.OP200610058345.8可调谐振器、可调谐光源、多重谐振器的波长调谐方法
46.OP200610053137.9一种石英晶体谐振器
47.OP200610050514.3一种低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器
48.OP200610038050.4微波毫米波基片集成波导介质谐振器天线
49.OP200610026591.5独石型片式厚度切变振动陶瓷谐振器及其制造方法
50.OP200610021822.3一种高?submsub的铌酸钾钠基无铅压电陶瓷及其中频谐振器
51.OP200610018446.2双工器中降低无源互调的谐振器排列结构
52.OP200610018254.1具有，IN晶化过渡层的体声波谐振器的制造方法
53.OP200610012109.2双谐振器敏感结构谐振式传感器
54.OP200610008938.3多重谐振器以及使用该多重谐振器的可变波长光源
55.OP200610007351.0共面平面电路内耦合结构、谐振器激励结构以及滤波器
56.OP200610006381.X具有可变直径通孔的介质谐振器和具有该谐振器的电路
57.OP200610001368.5一种结构紧凑的微带线谐振器及其微波滤波器
58.OP200610000593.7压电薄膜谐振器以及使用该压电薄膜谐振器的滤波器
59.OP200610000366.4兰姆波型高频谐振器
60.OP200580044215.2电荷偏置MEM谐振器
61.OP200580041610.5具有热传输装置的频率空腔谐振器
62.OP200580041176.0薄膜弹性波谐振器
63.OP200580037839.1可调谐表面声波谐振器
64.OP200580034093.9横向闭环谐振器
65.OP200580032127.0激光束的多次反射延迟线元件以及包括该延迟线元件的谐振器和短脉冲激光器装置
66.OP200580031736.4具有至少两个谐振器装置的尤其用于燃气轮机的燃烧室
67.OP200580023044.5谐振器型S，W滤波器
68.OP200580021492.1扭转谐振器和采用其的滤波器
69.OP200580021290.7频率稳定克服温度漂移的薄膜体声谐振器装置
70.OP200580021276.7用于调整MEMS谐振器频率的方法
71.OP200580019716.5薄膜体声波谐振器滤波器
72.OP200580018754.9半同轴空腔谐振器及用它制成的滤波器和通信设备
73.OP200580014940.5基于平面微谐振器的光化学传感器和光学生物传感器
74.OP200580014245.9形成集成的多频带薄膜体声谐振器
75.OP200580013358.7压电薄膜谐振器
76.OP200580013022.0弹性表面波谐振器及使用了该谐振器的弹性表面波滤波器
77.OP200580008713.1基于耦合B，W谐振器的双工器
78.OP200580008299.4用于根据机械谐振器数据进行流体的密度、粘度、介电常数和电阻率的化学计量估计的方法和设备
79.OP200580004281.7利用射频传输线的用于核磁共振的高频空腔谐振器
80.OP200580001978.9声表面波谐振器与采用该声表面波谐振器的声表面波滤波器
81.OP200580001605.1压电谐振器单元封装和压电谐振器
82.OP200580000659.6可调的谐振器滤波器
83.OP200580000251.9能量约束型压电谐振器
84.OP200520084729.8一种用于生产石英谐振器基座支架片的框架带
85.OP200520072580.1低频石英晶体谐振器
86.OP200520072166.0压电陶瓷谐振器
87.OP200520039665.X谐振器芯片与引线条自动装配机构
88.OP200520039664.5谐振器引线条双工位动态定位装置
89.OP200520036393.8一种带状线谐振器及微波薄膜材料电磁参数测试装置
90.OP200520011714.9部分悬浮开路线谐振器
91.OP200510137710.X利用外壳和内导体的不同材料及尺寸的谐振器的温度补偿
92.OP200510132363.1射频谐振器的调谐
93.OP200510132081.1一种微带线谐振器及其微波滤波器
94.OP200510130142.0带有运动板的薄膜体声波谐振器
95.OP200510124296.9使用填充凹进区的声谐振器的性能增强
96.OP200510119763.9表面贴装石英晶体谐振器陶瓷基座及其加工方法
97.OP200510118506.3谐振器
98.OP200510117191.0用于微波谐振器的可调节温度补偿系统
99.OP200510117007.2压电薄膜谐振器及使用该压电薄膜谐振器的滤波器
100.OP200510114885.9一种超导微带谐振器
101.OP200510108144.X谐振器
102.OP200510104741.5具有改进的温度补偿的压电晶体谐振器及其制造方法
103.OP200510097015.5剪切型晶体谐振器
104.OP200510093862.4小型石英谐振器
105.OP200510093642.1一种平面超导微带谐振器
106.OP200510092627.5制造压电谐振器的方法
107.OP200510089989.9使用电容器板和谐振板制造表面安装装置型谐振器的方法
108.OP200510084350.1一种具有低电磁辐射的平面高温超导微带谐振器
109.OP200510079662.3具有一质量负荷周边的薄膜体声波谐振器
110.OP200510079504.8谐振器、超声波芯片焊接头和超声波芯片焊接装置
111.OP200510076089.0压电薄膜谐振器和滤波器及其制造方法
112.OP200510074764.6薄膜体音响谐振器及薄膜体音响谐振器的制造方法
113.OP200510074370.0用于谐振器件的开环启动方法
114.OP200510069971.2用于谐振器的安装结构
115.OP200510069237.6同轴谐振器
116.OP200510067261.6薄膜压电谐振器及其制造方法
117.OP200510065503.8调节电介质谐振器电路的方法和装置
118.OP200510063853.0用于微波的谐振器外壳
119.OP200510063776.9谐振器、滤波器以及谐振器的制造
120.OP200510062435.X外部谐振器和利用其的半导体激光模块
121.OP200510059053.1谐振器、超声头和利用超声头的超声波焊接机
122.OP200510056475.3压电谐振器和具备压电谐振器的电子部件
123.OP200510053685.7压电谐振器和具有该压电谐振器的电子部件
124.OP200510049633.2一种利用介质谐振器构造异向介质的方法
125.OP200510043910.9一种框架带及用于生产石英谐振器基座支架片加工焊接方法
126.OP200510040776.7小尺寸片式高频压电陶瓷谐振器
127.OP200510029139.X补偿型微带谐振器以及谐波抑制的微带开路环耦合带通滤波器
128.OP200510024095.1陶瓷谐振器焊装机
129.OP200510022222.4一种带状线谐振器及微波薄膜材料电磁参数测试装置
130.OP200510011456.9一种平面超导微带谐振器
131.OP200510009122.8可变谐振器及可变移相器
132.OP200510004018.X具有保持肋的谐振器
133.OP200510003841.9薄膜体波谐振器
134.OP200510003461.5微谐振器及其制造方法，及电子设备
135.OP200480043520.5可调谐振器
136.OP200480039134.9有温度补偿的薄膜体声谐振器
137.OP200480037178.8利用具有功能化表面的谐振器的生物传感器
138.OP200480034660.6包含密闭容器中的谐振器单元的电子元件
139.OP200480033345.1设有谐振器的半导体装置
140.OP200480032452.2去耦叠层体声谐振器器件中的通带宽度控制
141.OP200480032450.3具有简单封装的薄膜体声波谐振器（FB，R）器件
142.OP200480030064.0混合球体波导谐振器
143.OP200480029992.5稳固安装的层叠体声谐振器
144.OP200480029947.X具有可控制通带宽的解耦层叠体声谐振器带通滤波器
145.OP200480029158.6谐振器结构及其制造方法
146.OP200480028584.8谐振器，滤波器，不可逆电路装置和通信设备
147.OP200480027973.9介质谐振器器件、振荡器以及收发器装置
148.OP200480027070.0微机电系统谐振器及其驱动和制备方法和频率滤波器
149.OP200480026256.4具有多个平行增益介质的非稳定激光谐振器中的相干光束组合
150.OP200480022541.9可调谐寄生谐振器
151.OP200480020561.2SC切割晶体谐振器
152.OP200480019511.2特别用于振动回转仪的谐振器
153.OP200480018940.8微波谐振器、由这种微波谐振器模块构建的处理自动线、运行方法和按照该方法用微波进行热处理的对象工件
154.OP200480016402.5用于高性能介质谐振器电路的安装机构
155.OP200480009014.4硅微型机电系统谐振器的温度补偿
156.OP200480006162.0薄膜压电谐振器的制造方法、薄膜压电谐振器的制造装置、薄膜压电谐振器以及电子部件
157.OP200480005065.X电介质谐振器、其频率调整方法及具有其的集成电路
158.OP200480004200.9用于或位于纺纱前处理机械上的包括微波谐振器的装置
159.OP200480004174.X压电谐振器
160.OP200480003768.9微波谐振器和用该谐振器的纺织机以及谐振器用的介质
161.OP200480003387.0用于游丝摆轮游丝谐振器的游丝及其制造方法
162.OP200480001282.1谐振器滤波器
163.OP200480001132.0介电谐振器和使用其的通信设备
164.OP200480000981.4二维光子晶体及使用此晶体的波导和谐振器
165.OP200420150888.9集成表面贴装谐振器
166.OP200420110635.9玻璃封装石英晶体谐振器
167.OP200420110632.5金属封装石英晶体谐振器
168.OP200420085305.9表面贴装型石英晶体谐振器
169.OP200420013894.X一种应用陶瓷介质谐振器的隔离混频装置
170.OP200410102874.4薄膜体声谐振器及其制造方法
171.OP200410089180.1牺牲层腐蚀技术制造的带场效应管的纳米梁谐振器
172.OP200410089178.4牺牲层腐蚀技术制造的带压敏电阻的纳米梁谐振器
173.OP200410088224.9压电谐振器的制造方法
174.OP200410087742.9压电薄膜谐振器以及使用其的滤波器，
2.OP200710107742.4压电薄膜谐振器及采用该压电薄膜谐振器的滤波器
3.OP200710105462.X具有多个压电薄膜谐振器的滤波器
4.OP200710092312.X制造用于压电谐振器的声反射镜和制造压电谐振器的方法
5.OP200710085821.X弹性边界波器件、谐振器以及滤波器
6.OP200710072394.1石英热敏谐振器
7.OP200710069043.5一种基于微桥谐振器的红外探测器结构及☎13940531297
8.OP200710007036.2膜体声谐振器及其制造方法
9.OP200710005320.6薄膜压电谐振器以及薄膜压电谐振器滤波器
10.OP200680000322.X薄膜压电谐振器及其制造方法
11.OP200680000282.9厚度纵向压电谐振器
12.OP200680000095.0扭转谐振器和采用其的滤波器
13.OP200620141335.6石英晶体谐振器
14.OP200620125787.5用于生产石英谐振器基座支架片的框架带
15.OP200620068924.6介质谐振器天线
16.OP200620068522.6表面贴装石英晶体谐振器
17.OP200620068238.9一种家用超声雾化加湿器的谐振器改进结构
18.OP200620016814.5同轴腔体谐振器间耦合结构
19.OP200610169257.5表面安装谐振器及利用绝缘陶瓷基底形成其的方法
20.OP200610160693.6压电层压体、表面声波元件、压电谐振器及压电传动装置
21.OP200610149519.1具有轴向间隙的介质谐振器及具有这种介质谐振器的电路
22.OP200610144503.1可变谐振器
23.OP200610143562.7用于磁共振应用的谐振器
24.OP200610143239.X音响谐振器及滤波元件
25.OP200610141277.1具有金属薄膜谐振器的等离子照明系统
26.OP200610140070.2结合了串联的解耦堆叠体声波谐振器的声电隔离器
27.OP200610139691.9包括具有不同孔径比部分的谐振器的无电极照明系统
28.OP200610139686.8具有铝谐振器的无电极照明系统
29.OP200610137474.6压电薄膜谐振器及滤波器
30.OP200610137387.0压电谐振器及其制造方法
31.OP200610128699.5频率温度系数经调整过的谐振器
32.OP200610126755.1共面谐振器及使用了该共面谐振器的滤波器
33.OP200610115959.5薄膜体声谐振器及其制造方法
34.OP200610091656.4微小谐振器、带通滤波器、半导体装置及通信装置
35.OP200610087989.X小型压电谐振器
36.OP200610087987.0压电谐振器以及包含封装在壳体中的该谐振器的组件
37.OP200610087982.8小型压电谐振器
38.OP200610087834.6弹性表面波谐振器、弹性表面波装置以及通信设备
39.OP200610080180.4压电薄膜谐振器与滤波器
40.OP200610079076.3膜体声谐振器和滤波电路
41.OP200610078162.2压电薄膜谐振器和具有其的滤波器
42.OP200610074177.1谐振器
43.OP200610065658.6层叠型多谐振器天线
44.OP200610064749.8电子可调谐介质谐振器电路
45.OP200610058345.8可调谐振器、可调谐光源、多重谐振器的波长调谐方法
46.OP200610053137.9一种石英晶体谐振器
47.OP200610050514.3一种低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器
48.OP200610038050.4微波毫米波基片集成波导介质谐振器天线
49.OP200610026591.5独石型片式厚度切变振动陶瓷谐振器及其制造方法
50.OP200610021822.3一种高?submsub的铌酸钾钠基无铅压电陶瓷及其中频谐振器
51.OP200610018446.2双工器中降低无源互调的谐振器排列结构
52.OP200610018254.1具有，IN晶化过渡层的体声波谐振器的制造方法
53.OP200610012109.2双谐振器敏感结构谐振式传感器
54.OP200610008938.3多重谐振器以及使用该多重谐振器的可变波长光源
55.OP200610007351.0共面平面电路内耦合结构、谐振器激励结构以及滤波器
56.OP200610006381.X具有可变直径通孔的介质谐振器和具有该谐振器的电路
57.OP200610001368.5一种结构紧凑的微带线谐振器及其微波滤波器
58.OP200610000593.7压电薄膜谐振器以及使用该压电薄膜谐振器的滤波器
59.OP200610000366.4兰姆波型高频谐振器
60.OP200580044215.2电荷偏置MEM谐振器
61.OP200580041610.5具有热传输装置的频率空腔谐振器
62.OP200580041176.0薄膜弹性波谐振器
63.OP200580037839.1可调谐表面声波谐振器
64.OP200580034093.9横向闭环谐振器
65.OP200580032127.0激光束的多次反射延迟线元件以及包括该延迟线元件的谐振器和短脉冲激光器装置
66.OP200580031736.4具有至少两个谐振器装置的尤其用于燃气轮机的燃烧室
67.OP200580023044.5谐振器型S，W滤波器
68.OP200580021492.1扭转谐振器和采用其的滤波器
69.OP200580021290.7频率稳定克服温度漂移的薄膜体声谐振器装置
70.OP200580021276.7用于调整MEMS谐振器频率的方法
71.OP200580019716.5薄膜体声波谐振器滤波器
72.OP200580018754.9半同轴空腔谐振器及用它制成的滤波器和通信设备
73.OP200580014940.5基于平面微谐振器的光化学传感器和光学生物传感器
74.OP200580014245.9形成集成的多频带薄膜体声谐振器
75.OP200580013358.7压电薄膜谐振器
76.OP200580013022.0弹性表面波谐振器及使用了该谐振器的弹性表面波滤波器
77.OP200580008713.1基于耦合B，W谐振器的双工器
78.OP200580008299.4用于根据机械谐振器数据进行流体的密度、粘度、介电常数和电阻率的化学计量估计的方法和设备
79.OP200580004281.7利用射频传输线的用于核磁共振的高频空腔谐振器
80.OP200580001978.9声表面波谐振器与采用该声表面波谐振器的声表面波滤波器
81.OP200580001605.1压电谐振器单元封装和压电谐振器
82.OP200580000659.6可调的谐振器滤波器
83.OP200580000251.9能量约束型压电谐振器
84.OP200520084729.8一种用于生产石英谐振器基座支架片的框架带
85.OP200520072580.1低频石英晶体谐振器
86.OP200520072166.0压电陶瓷谐振器
87.OP200520039665.X谐振器芯片与引线条自动装配机构
88.OP200520039664.5谐振器引线条双工位动态定位装置
89.OP200520036393.8一种带状线谐振器及微波薄膜材料电磁参数测试装置
90.OP200520011714.9部分悬浮开路线谐振器
91.OP200510137710.X利用外壳和内导体的不同材料及尺寸的谐振器的温度补偿
92.OP200510132363.1射频谐振器的调谐
93.OP200510132081.1一种微带线谐振器及其微波滤波器
94.OP200510130142.0带有运动板的薄膜体声波谐振器
95.OP200510124296.9使用填充凹进区的声谐振器的性能增强
96.OP200510119763.9表面贴装石英晶体谐振器陶瓷基座及其加工方法
97.OP200510118506.3谐振器
98.OP200510117191.0用于微波谐振器的可调节温度补偿系统
99.OP200510117007.2压电薄膜谐振器及使用该压电薄膜谐振器的滤波器
100.OP200510114885.9一种超导微带谐振器
101.OP200510108144.X谐振器
102.OP200510104741.5具有改进的温度补偿的压电晶体谐振器及其制造方法
103.OP200510097015.5剪切型晶体谐振器
104.OP200510093862.4小型石英谐振器
105.OP200510093642.1一种平面超导微带谐振器
106.OP200510092627.5制造压电谐振器的方法
107.OP200510089989.9使用电容器板和谐振板制造表面安装装置型谐振器的方法
108.OP200510084350.1一种具有低电磁辐射的平面高温超导微带谐振器
109.OP200510079662.3具有一质量负荷周边的薄膜体声波谐振器
110.OP200510079504.8谐振器、超声波芯片焊接头和超声波芯片焊接装置
111.OP200510076089.0压电薄膜谐振器和滤波器及其制造方法
112.OP200510074764.6薄膜体音响谐振器及薄膜体音响谐振器的制造方法
113.OP200510074370.0用于谐振器件的开环启动方法
114.OP200510069971.2用于谐振器的安装结构
115.OP200510069237.6同轴谐振器
116.OP200510067261.6薄膜压电谐振器及其制造方法
117.OP200510065503.8调节电介质谐振器电路的方法和装置
118.OP200510063853.0用于微波的谐振器外壳
119.OP200510063776.9谐振器、滤波器以及谐振器的制造
120.OP200510062435.X外部谐振器和利用其的半导体激光模块
121.OP200510059053.1谐振器、超声头和利用超声头的超声波焊接机
122.OP200510056475.3压电谐振器和具备压电谐振器的电子部件
123.OP200510053685.7压电谐振器和具有该压电谐振器的电子部件
124.OP200510049633.2一种利用介质谐振器构造异向介质的方法
125.OP200510043910.9一种框架带及用于生产石英谐振器基座支架片加工焊接方法
126.OP200510040776.7小尺寸片式高频压电陶瓷谐振器
127.OP200510029139.X补偿型微带谐振器以及谐波抑制的微带开路环耦合带通滤波器
128.OP200510024095.1陶瓷谐振器焊装机
129.OP200510022222.4一种带状线谐振器及微波薄膜材料电磁参数测试装置
130.OP200510011456.9一种平面超导微带谐振器
131.OP200510009122.8可变谐振器及可变移相器
132.OP200510004018.X具有保持肋的谐振器
133.OP200510003841.9薄膜体波谐振器
134.OP200510003461.5微谐振器及其制造方法，及电子设备
135.OP200480043520.5可调谐振器
136.OP200480039134.9有温度补偿的薄膜体声谐振器
137.OP200480037178.8利用具有功能化表面的谐振器的生物传感器
138.OP200480034660.6包含密闭容器中的谐振器单元的电子元件
139.OP200480033345.1设有谐振器的半导体装置
140.OP200480032452.2去耦叠层体声谐振器器件中的通带宽度控制
141.OP200480032450.3具有简单封装的薄膜体声波谐振器（FB，R）器件
142.OP200480030064.0混合球体波导谐振器
143.OP200480029992.5稳固安装的层叠体声谐振器
144.OP200480029947.X具有可控制通带宽的解耦层叠体声谐振器带通滤波器
145.OP200480029158.6谐振器结构及其制造方法
146.OP200480028584.8谐振器，滤波器，不可逆电路装置和通信设备
147.OP200480027973.9介质谐振器器件、振荡器以及收发器装置
148.OP200480027070.0微机电系统谐振器及其驱动和制备方法和频率滤波器
149.OP200480026256.4具有多个平行增益介质的非稳定激光谐振器中的相干光束组合
150.OP200480022541.9可调谐寄生谐振器
151.OP200480020561.2SC切割晶体谐振器
152.OP200480019511.2特别用于振动回转仪的谐振器
153.OP200480018940.8微波谐振器、由这种微波谐振器模块构建的处理自动线、运行方法和按照该方法用微波进行热处理的对象工件
154.OP200480016402.5用于高性能介质谐振器电路的安装机构
155.OP200480009014.4硅微型机电系统谐振器的温度补偿
156.OP200480006162.0薄膜压电谐振器的制造方法、薄膜压电谐振器的制造装置、薄膜压电谐振器以及电子部件
157.OP200480005065.X电介质谐振器、其频率调整方法及具有其的集成电路
158.OP200480004200.9用于或位于纺纱前处理机械上的包括微波谐振器的装置
159.OP200480004174.X压电谐振器
160.OP200480003768.9微波谐振器和用该谐振器的纺织机以及谐振器用的介质
161.OP200480003387.0用于游丝摆轮游丝谐振器的游丝及其制造方法
162.OP200480001282.1谐振器滤波器
163.OP200480001132.0介电谐振器和使用其的通信设备
164.OP200480000981.4二维光子晶体及使用此晶体的波导和谐振器
165.OP200420150888.9集成表面贴装谐振器
166.OP200420110635.9玻璃封装石英晶体谐振器
167.OP200420110632.5金属封装石英晶体谐振器
168.OP200420085305.9表面贴装型石英晶体谐振器
169.OP200420013894.X一种应用陶瓷介质谐振器的隔离混频装置
170.OP200410102874.4薄膜体声谐振器及其制造方法
171.OP200410089180.1牺牲层腐蚀技术制造的带场效应管的纳米梁谐振器
172.OP200410089178.4牺牲层腐蚀技术制造的带压敏电阻的纳米梁谐振器
173.OP200410088224.9压电谐振器的制造方法
174.OP200410087742.9压电薄膜谐振器以及使用其的滤波器，
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