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34、OP200510108808.2用于等离子体蚀刻机器的气体分布电极
35、OP200520030592.8一种金属标牌蚀刻机
36、OP200620052800.9蚀刻机
37、OP200620080758.1蚀刻机
38、OP200620119834.5改进的半导体蚀刻机台，